相關規範:《電子工業潔淨廠房設計規範》GB 50472-2008
《潔淨室施工及驗收規範》GB50591-2010
電子潔淨廠房潔淨度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔淨室截麵風速按設計或規範受控,另外該類潔淨室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過於幹燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控製在22℃左右,相對濕度控製在50-60%之間。特殊潔淨車間有相關溫濕度規定。這時可有效地消除靜電,並使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤製造車間是屬於電子製造行業潔淨室的重要組成部分。由於電子產品在製造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控製微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
潔淨室係指對空氣潔淨度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控製的密閉性較好的空間。
潔淨室要達到潔淨等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建築平麵、建築構造、建築裝修、人員和物料淨化、空氣潔淨措施、維護管理等。其中空氣潔淨措施是實現潔淨等級的根本保證。就空氣潔淨而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔淨室的送風必須是有很高潔淨度的空氣。因此,必須選用高效或亞高效過濾器(潔淨級別低時)作為終端過濾器,對進入潔淨室的空氣,進行*後一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
(2) 根據潔淨室的等級,合理選擇潔淨室的氣流分布流型,在工作區應避免渦流區;盡量使送入房間的潔淨度高的空氣直接到達工作區;氣流的流動有利於潔淨室內的微粒從回風口排走。
(3) 有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩定的氣流流型。
(4)不同等級的潔淨室、潔淨室與非潔淨室或潔淨室與室外之間均應保持一定的正壓值。